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麥克尼斯EDI超純水處理設備在芯片制造應用

2021-11-19 09:49:23

admin

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麥克尼斯EDI超純水設備在芯片行業中主要用來過濾芯片生產所需的純水及超純水。

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芯片制造是一連串精細且復雜的工藝，每個生產環節，不管大小，都有其重要性。麥克尼斯EDI超純水設備在芯片行業中主要用來過濾芯片生產所需的純水及超純水。

芯片是工業領域都會使用到的一種原材料，2020年開始，由于智能產業，手機、汽車、家居等不斷發展，導致全世界出現了一股芯片慌。工業對于芯片的需求量日益加大，對于芯片的精細化程度要去也日益提高。因此，芯片生產各工藝環節要求也不斷提高。

芯片生產工藝流程圖

麥克尼斯EDI使用在芯片生產哪些環節
整個產品水過濾環節是自來水進入原水箱，通過原水泵增壓，經砂濾器、炭濾器、阻垢劑加藥、保安過濾器，到達反滲透單元，經兩級反滲透過濾進入麥克尼斯EDI單元，達到電阻率15MΩ·cm（25℃）進入純水水箱。純水供水設計為循環方式，經純水供水泵增壓，通過紫外線消毒器、拋光混床0.22微米過濾器接入純水供水管，到達使用點。
芯片在進行延片清洗，使用冷卻液進行冷卻環節中，所使用的的水都是超純水。一旦芯片表面吸附一些水中的微量元素，就有可能產生水垢，造成新盤損壞，因此所有半成品、成品清洗都需要使用是由氫氧分子的超純水。

麥克尼斯EDI在芯片生產工藝使用注意事項
1. 使用前需要仔細閱讀麥克尼斯EDI產品說明相關手冊，熟悉產品操作方法及個部件使用規范以及一些注意事項等。
2. 設備開機前要檢查鹽箱液體水位高度，氮封箱水位高度，儀表空氣壓力值，氮氣壓力值，冷凍水壓力值均在合理范圍內。
3. 麥克尼斯EDI設備可以24小時不停歇運作。由于芯片生產密閉性強，因此在運行時一般不輕易關停設備，如果產線需要對于設備進行關機，要按照步驟來，先關閉計量泵，在關閉鎮流器，待濃水電導值下降到40us之后，在關閉濃水循環泵，除鹽水泵，真空泵，氮氣泵，冷凍水閥。

EDI除鹽技術發展從最開始的簡易分離發展到現在的將點滲析和離子交換兩項技術有機結合，產品本身已經經歷了好幾代的更迭，對于后期更高技術的除鹽要去，麥克尼斯EDI超純水設備也在不斷的進行技術突破。

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